專業(yè)述語所說高純水和我們平時所說的飲用純凈水是兩種不同的水質，由于高純水制作過程中使用了一些化學成份的東西，且處理完后水中除了水不含任何的物質。對人體是無益的。
高純水的水質標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有： 1.微電子工藝對水質的要求； 2.制水工藝的水平； 3.檢測技術的現(xiàn)狀。 在高純水的生產(chǎn)過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除；水中的顆粒一般可用超濾、反滲透膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。
天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產(chǎn)高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。
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